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Tin on Carbon AGS1937 - Universal Resolution Specimen

一、核心参数

• 结构：碳基底（Carbon）上分布纳米–微米级锡球（Sn）

• 粒径范围：＜5 nm ～ 30 μm（覆盖低倍到超高倍）

• 对比度：锡（高原子序数）vs 碳（低原子序数），反差强

• 电子束耐受性：锡球接近理想球体，抗电子束损伤，可反复使用

Tin on Carbon AGS1937 - Universal Resolution Specimen

二、主要应用（一站式校准）

1. 分辨率测试：相邻锡球间隙为最小可测特征，直接判读SEM 极限分辨率（最高可测＜5 nm）

2. 像散校正：球形易识别像散畸变，快速消像散

3. 低电压校准：大锡球（μm 级）适合 ** 低 kV（1–5 kV）** 下对焦与柱 align

4. 图像漂移监测：切换参数（kV / 束流 / 工作距离）时，观察锡球位置变化

5. 放大倍率校准：配合标尺，校准不同倍率下的放大精度

上海宝叶生物科技有限公司

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